VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Si3N4 Coating/Glass: <5 min after UV treatment (35 TOA, mesh)
1

NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1

Si3N4 Coating/Glass: <5 min after UV treatment (35 TOA, mesh)
2003
5
10
15
47
40
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.7
1
0
4
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1100
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
2202
75
19164
0.0603073
0.397444
764
0.397444
742
0.396009
764
0.394583
742
0.393166
716
0.391757
713
0.390357
706
0.388966
683
0.387583
647
0.386209
666
0.384843
708
0.383485
645
0.382135
697
0.380794
715
0.37946
682
0.378135
702
0.376817
730
0.375508
713
0.374206
716
0.372911
731
0.371625
785
0.370346
724
0.369075
708
0.367811
720
0.366554
700
0.365305
745
0.364063
682
0.362828
770
0.361601
774
0.36038
752
0.359167
769
0.35796
772
0.356761
752
0.355568
814
0.354383
776
0.353204
709
0.352031
795
0.350866
758
0.349706
796
0.348554
747
0.347408
756
0.346268
779
0.345135
859
0.344008
794
0.342888
820
0.341773
827
0.340665
809
0.339563
830
0.338468
940
0.337378
842
0.336294
806
0.335216
881
0.334144
856
0.333078
869
0.332018
860
0.330963
864
0.329914
843
0.328871
830
0.327834
878
0.326802
911
0.325776
880
0.324755
862
0.32374
891
0.32273
954
0.321725
932
0.320726
931
0.319732
904
0.318744
982
0.31776
924
0.316782
958
0.315809
884
0.314841
949
0.313879
974
0.312921
989
0.311968
970
0.31102
981
0.310077
949
0.309139
1027
0.308206
985
0.307278
1010
0.306354
1038
0.305435
1065
0.304521
1102
0.303612
1097
0.302707
1130
0.301807
1124
0.300911
1087
0.30002
1142
0.299134
1173
0.298252
1138
0.297374
1092
0.296501
1104
0.295632
1163
0.294768
1124
0.293908
1123
0.293052
1124
0.2922
1052
0.291353
1174
0.29051
1202
0.289671
1265
0.288836
1255
0.288006
1205
0.287179
1286
0.286357
1370
0.285538
1327
0.284724
1360
0.283913
1358
0.283106
1261
0.282304
1243
0.281505
1250
0.28071
1253
0.279919
1166
0.279132
1152
0.278348
1181
0.277569
1128
0.276793
1179
0.276021
1205
0.275252
1245
0.274487
1239
0.273726
1249
0.272968
1320
0.272214
1450
0.271464
1453
0.270717
1648
0.269973
1735
0.269233
1942
0.268497
1857
0.267764
1715
0.267034
1536
0.266308
1387
0.265585
1346
0.264866
1224
0.26415
1186
0.263437
1034
0.262727
1012
0.262021
914
0.261318
868
0.260618
783
0.259922
740
0.259228
766
0.258538
767
0.257851
727
0.257167
737
0.256486
742
0.255808
727
0.255134
733
0.254462
748
0.253793
741
0.253128
706
0.252465
706
0.251805
756
0.251149
757
0.250495
698
0.249844
753
0.249196
737
0.248551
791
0.247909
757
0.247269
787
0.246633
745
0.245999
730
0.245368
787
0.24474
776
0.244114
707
0.243492
696
0.242872
699
0.242254
809
0.24164
756
0.241028
793
0.240418
740
0.239812
817
0.239208
833
0.238606
791
0.238007
806
0.237411
769
0.236817
817
0.236226
800
0.235637
830
0.235051
839
0.234467
873
0.233886
811
0.233308
857
0.232731
799
0.232157
797
0.231586
824
0.231017
830
0.23045
779
0.229886
864
0.229324
849
0.228765
863
0.228208
831
0.227653
866
0.2271
955
0.22655
794
0.226002
809
0.225456
829
0.224913
887
0.224372
827
0.223833
832
0.223296
885
0.222761
878
0.222229
797
0.221699
870
0.221171
863
0.220645
865
0.220121
819
0.219599
916
0.21908
828
0.218563
882
0.218047
879
0.217534
826
0.217023
868
0.216514
915
0.216007
879
0.215502
883
0.214999
919
0.214498
884
0.213999
912
0.213502
902
0.213007
912
0.212514
843
0.212022
891
0.211533
902
0.211046
847
0.210561
974
0.210077
898
0.209596
947
0.209116
906
0.208638
952
0.208163
935
0.207688
935
0.207216
984
0.206746
1005
0.206277
940
0.205811
980
0.205346
953
0.204883
916
0.204422
924
0.203962
973
0.203504
984
0.203048
962
0.202594
932
0.202141
991
0.201691
980
0.201242
962
0.200794
933
0.200349
1014
0.199905
1018
0.199462
995
0.199022
1004
0.198583
940
0.198146
931
0.19771
1034
0.197276
992
0.196844
1023
0.196413
1057
0.195984
1000
0.195556
964
0.19513
985
0.194706
997
0.194283
993
0.193862
1020
0.193443
987
0.193024
1040
0.192608
1018
0.192193
1031
0.19178
1034
0.191368
1075
0.190957
1074
0.190548
1047
0.190141
1041
0.189735
977
0.189331
1124
0.188928
1094
0.188526
1068
0.188126
1113
0.187728
1049
0.18733
1091
0.186935
1102
0.18654
1120
0.186148
1031
0.185756
1036
0.185366
1148
0.184978
1134
0.18459
1020
0.184205
1139
0.18382
1178
0.183437
1130
0.183055
1133
0.182675
1144
0.182296
1148
0.181918
1171
0.181542
1079
0.181167
1115
0.180793
1127
0.180421
1185
0.18005
1125
0.17968
1176
0.179312
1153
0.178945
1191
0.178579
1165
0.178214
1093
0.177851
1154
0.177489
1174
0.177128
1115
0.176769
1218
0.176411
1225
0.176054
1213
0.175698
1196
0.175343
1176
0.17499
1229
0.174638
1198
0.174287
1194
0.173937
1245
0.173589
1183
0.173242
1235
0.172896
1223
0.172551
1178
0.172207
1255
0.171864
1202
0.171523
1279
0.171183
1260
0.170844
1271
0.170506
1247
0.170169
1300
0.169833
1267
0.169499
1256
0.169165
1286
0.168833
1254
0.168502
1311
0.168172
1280
0.167843
1290
0.167515
1293
0.167189
1293
0.166863
1275
0.166538
1305
0.166215
1281
0.165893
1314
0.165571
1296
0.165251
1308
0.164932
1313
0.164614
1333
0.164297
1361
0.163981
1395
0.163666
1296
0.163352
1381
0.163039
1357
0.162727
1281
0.162416
1341
0.162106
1344
0.161797
1272
0.161489
1411
0.161182
1352
0.160877
1379
0.160572
1447
0.160268
1415
0.159965
1357
0.159663
1404
0.159362
1427
0.159062
1381
0.158763
1395
0.158465
1429
0.158168
1362
0.157872
1458
0.157577
1421
0.157283
1406
0.156989
1489
0.156697
1418
0.156406
1470
0.156115
1445
0.155825
1535
0.155537
1500
0.155249
1506
0.154962
1462
0.154676
1514
0.154391
1465
0.154107
1414
0.153824
1488
0.153542
1499
0.15326
1503
0.15298
1493
0.1527
1469
0.152421
1478
0.152143
1621
0.151866
1586
0.15159
1494
0.151315
1543
0.15104
1620
0.150767
1580
0.150494
1510
0.150222
1545
0.149951
1505
0.149681
1536
0.149411
1567
0.149143
1657
0.148875
1602
0.148608
1602
0.148342
1607
0.148077
1619
0.147812
1619
0.147548
1601
0.147285
1574
0.147023
1615
0.146762
1619
0.146502
1704
0.146242
1626
0.145983
1636
0.145725
1691
0.145468
1738
0.145211
1636
0.144955
1687
0.1447
1716
0.144446
1745
0.144193
1772
0.14394
1699
0.143688
1767
0.143437
1713
0.143186
1694
0.142937
1785
0.142688
1744
0.142439
1797
0.142192
1735
0.141945
1732
0.141699
1798
0.141454
1779
0.141209
1895
0.140965
1753
0.140722
1861
0.14048
1846
0.140238
1842
0.139997
1810
0.139757
1852
0.139518
1797
0.139279
1777
0.139041
1874
0.138803
1836
0.138566
1869
0.13833
1843
0.138095
1910
0.13786
1893
0.137626
1884
0.137393
1917
0.13716
1988
0.136928
1893
0.136697
1795
0.136466
1964
0.136236
1913
0.136007
1893
0.135779
1869
0.135551
1874
0.135323
1996
0.135097
1938
0.134871
2043
0.134645
1985
0.13442
2017
0.134196
1989
0.133973
1992
0.13375
1993
0.133528
2020
0.133306
2004
0.133085
2059
0.132865
2058
0.132645
2100
0.132426
2084
0.132208
2005
0.13199
2099
0.131773
2063
0.131556
2034
0.13134
2084
0.131125
2026
0.13091
2095
0.130696
2076
0.130483
2158
0.13027
2189
0.130057
2131
0.129846
2154
0.129634
2077
0.129424
2227
0.129214
2166
0.129004
2187
0.128795
2151
0.128587
2255
0.12838
2183
0.128172
2263
0.127966
2178
0.12776
2187
0.127555
2240
0.12735
2197
0.127145
2278
0.126942
2272
0.126739
2332
0.126536
2276
0.126334
2311
0.126132
2319
0.125931
2408
0.125731
2362
0.125531
2390
0.125332
2337
0.125133
2377
0.124935
2382
0.124737
2415
0.12454
2420
0.124344
2441
0.124147
2374
0.123952
2447
0.123757
2488
0.123562
2438
0.123368
2505
0.123175
2533
0.122982
2528
0.12279
2492
0.122598
2407
0.122406
2546
0.122215
2564
0.122025
2580
0.121835
2626
0.121646
2567
0.121457
2625
0.121269
2633
0.121081
2758
0.120893
2660
0.120707
2757
0.12052
2652
0.120334
2804
0.120149
2778
0.119964
2732
0.11978
2767
0.119596
2779
0.119412
2619
0.119229
2828
0.119047
2789
0.118865
2757
0.118683
2786
0.118502
2843
0.118322
2850
0.118142
2762
0.117962
2816
0.117783
2713
0.117604
2836
0.117426
2652
0.117248
2818
0.117071
2891
0.116894
2855
0.116718
2854
0.116542
3031
0.116366
3195
0.116191
3343
0.116017
3388
0.115843
3429
0.115669
3403
0.115496
3669
0.115323
3660
0.115151
3347
0.114979
3320
0.114807
3041
0.114636
2980
0.114466
2810
0.114295
2784
0.114126
2731
0.113956
2561
0.113788
2614
0.113619
2553
0.113451
2385
0.113284
2204
0.113116
2112
0.11295
2034
0.112783
1976
0.112617
1950
0.112452
2085
0.112287
2165
0.112122
2546
0.111958
4378
0.111794
11518
0.111631
19164
0.111468
13051
0.111305
4826
0.111143
2422
0.110981
1985
0.11082
1841
0.110659
1743
0.110498
1756
0.110338
1717
0.110178
1733
0.110019
1777
0.10986
1788
0.109701
1703
0.109543
1755
0.109385
1690
0.109228
1732
0.109071
1733
0.108914
1747
0.108758
1765
0.108602
1731
0.108447
1689
0.108292
1776
0.108137
1723
0.107982
1767
0.107829
1805
0.107675
1848
0.107522
1728
0.107369
1761
0.107216
1774
0.107064
1773
0.106912
1755
0.106761
1778
0.10661
1814
0.106459
1853
0.106309
1821
0.106159
1835
0.10601
1871
0.105861
1710
0.105712
1806
0.105563
1795
0.105415
1829
0.105267
1851
0.10512
1826
0.104973
1816
0.104826
1885
0.10468
1828
0.104534
1835
0.104388
1875
0.104243
1891
0.104098
1813
0.103953
1852
0.103809
1962
0.103665
1819
0.103522
1997
0.103378
1925
0.103235
1925
0.103093
1868
0.102951
1921
0.102809
1943
0.102667
1890
0.102526
1916
0.102385
1991
0.102245
1882
0.102104
1993
0.101964
2029
0.101825
2019
0.101686
1959
0.101547
1875
0.101408
1928
0.10127
1954
0.101132
1886
0.100994
1980
0.100857
1830
0.10072
1956
0.100583
1993
0.100447
1960
0.100311
1973
0.100175
2026
0.10004
1916
0.0999048
2082
0.09977
2104
0.0996356
2030
0.0995014
1947
0.0993676
1975
0.099234
2062
0.0991008
2042
0.0989679
1989
0.0988353
2184
0.098703
2136
0.098571
2095
0.0984393
1964
0.0983079
2006
0.0981767
2087
0.0980459
1930
0.0979154
1989
0.0977852
1927
0.0976553
1994
0.0975257
1972
0.0973964
1909
0.0972674
1897
0.0971386
1981
0.0970102
1884
0.096882
1951
0.0967542
1910
0.0966266
1970
0.0964993
1966
0.0963723
1997
0.0962456
1986
0.0961192
2064
0.095993
2147
0.0958672
2199
0.0957416
2324
0.0956163
2306
0.0954913
2157
0.0953666
2205
0.0952421
2079
0.095118
2023
0.0949941
1872
0.0948704
1861
0.0947471
1750
0.094624
1750
0.0945012
1588
0.0943787
1530
0.0942564
1582
0.0941345
1378
0.0940128
1356
0.0938913
1280
0.0937701
1222
0.0936492
1217
0.0935286
1261
0.0934082
1319
0.0932881
1331
0.0931683
1489
0.0930487
2556
0.0929294
6041
0.0928103
7566
0.0926915
3648
0.092573
1597
0.0924547
1201
0.0923367
1089
0.092219
1077
0.0921015
1043
0.0919842
1070
0.0918672
1079
0.0917505
1023
0.091634
1123
0.0915178
1104
0.0914018
1177
0.0912861
1134
0.0911707
1077
0.0910554
1086
0.0909405
1080
0.0908257
1074
0.0907113
1124
0.090597
1078
0.0904831
1051
0.0903693
1084
0.0902558
1071
0.0901426
1105
0.0900296
1151
0.0899168
1166
0.0898043
1086
0.089692
1110
0.08958
1075
0.0894682
1094
0.0893567
1137
0.0892453
1123
0.0891343
1138
0.0890234
1122
0.0889128
1147
0.0888024
1168
0.0886923
1198
0.0885824
1173
0.0884727
1243
0.0883633
1137
0.0882541
1173
0.0881451
1099
0.0880364
1140
0.0879279
1146
0.0878196
1176
0.0877115
1140
0.0876037
1217
0.0874961
1098
0.0873887
1196
0.0872815
1211
0.0871746
1155
0.0870679
1189
0.0869614
1205
0.0868552
1131
0.0867492
1305
0.0866434
1192
0.0865378
1219
0.0864324
1145
0.0863272
1238
0.0862223
1240
0.0861176
1297
0.0860131
1211
0.0859088
1215
0.0858048
1238
0.0857009
1244
0.0855973
1305
0.0854939
1226
0.0853907
1276
0.0852877
1225
0.0851849
1238
0.0850824
1247
0.08498
1271
0.0848779
1288
0.0847759
1265
0.0846742
1287
0.0845727
1251
0.0844714
1255
0.0843703
1302
0.0842694
1284
0.0841688
1276
0.0840683
1359
0.083968
1336
0.0838679
1337
0.0837681
1330
0.0836684
1324
0.083569
1384
0.0834697
1326
0.0833707
1360
0.0832718
1297
0.0831732
1366
0.0830747
1422
0.0829765
1283
0.0828784
1368
0.0827806
1323
0.0826829
1332
0.0825855
1309
0.0824882
1368
0.0823912
1329
0.0822943
1282
0.0821976
1258
0.0821012
1267
0.0820049
1253
0.0819088
1322
0.0818129
1224
0.0817172
1272
0.0816217
1239
0.0815264
1307
0.0814312
1578
0.0813363
1800
0.0812415
1937
0.081147
1949
0.0810526
1908
0.0809584
2334
0.0808644
2494
0.0807706
1829
0.080677
1284
0.0805835
1213
0.0804903
1229
0.0803972
1173
0.0803043
1149
0.0802116
1200
0.0801191
1133
0.0800268
1189
0.0799346
1196
0.0798427
1137
0.0797509
1172
0.0796593
1192
0.0795678
1191
0.0794766
1186
0.0793855
1226
0.0792946
1287
0.0792039
1179
0.0791134
1198
0.079023
1167
0.0789329
1191
0.0788429
1210
0.078753
1257
0.0786634
1237
0.0785739
1163
0.0784846
1275
0.0783955
1280
0.0783065
1195
0.0782177
1179
0.0781291
1235
0.0780407
1229
0.0779524
1264
0.0778643
1266
0.0777764
1286
0.0776886
1257
0.0776011
1250
0.0775136
1150
0.0774264
1275
0.0773393
1230
0.0772524
1239
0.0771657
1263
0.0770791
1240
0.0769927
1298
0.0769064
1284
0.0768203
1288
0.0767344
1276
0.0766487
1245
0.0765631
1360
0.0764777
1252
0.0763924
1282
0.0763073
1316
0.0762224
1281
0.0761376
1320
0.076053
1318
0.0759685
1308
0.0758842
1376
0.0758001
1364
0.0757162
1416
0.0756323
1419
0.0755487
1316
0.0754652
1348
0.0753819
1322
0.0752987
1281
0.0752157
1308
0.0751328
1340
0.0750501
1415
0.0749675
1397
0.0748852
1328
0.0748029
1364
0.0747208
1395
0.0746389
1424
0.0745571
1375
0.0744755
1417
0.074394
1432
0.0743127
1430
0.0742315
1416
0.0741505
1425
0.0740697
1423
0.073989
1455
0.0739084
1517
0.073828
1467
0.0737477
1518
0.0736676
1467
0.0735877
1458
0.0735078
1462
0.0734282
1502
0.0733487
1488
0.0732693
1483
0.0731901
1483
0.073111
1429
0.0730321
1423
0.0729533
1474
0.0728746
1400
0.0727961
1436
0.0727178
1547
0.0726396
1540
0.0725615
1519
0.0724836
1443
0.0724059
1428
0.0723282
1496
0.0722507
1549
0.0721734
1543
0.0720962
1574
0.0720191
1635
0.0719422
1686
0.0718654
1725
0.0717888
1785
0.0717123
1789
0.0716359
1838
0.0715597
1786
0.0714836
1683
0.0714077
1637
0.0713319
1650
0.0712562
1588
0.0711807
1511
0.0711053
1358
0.07103
1435
0.0709549
1329
0.0708799
1303
0.0708051
1191
0.0707304
1203
0.0706558
1048
0.0705814
1079
0.0705071
985
0.0704329
1013
0.0703588
1068
0.0702849
1252
0.0702112
1648
0.0701375
2732
0.070064
4825
0.0699906
6081
0.0699174
4803
0.0698443
2575
0.0697713
1619
0.0696984
1243
0.0696257
1091
0.0695531
997
0.0694807
992
0.0694083
929
0.0693361
923
0.0692641
834
0.0691921
849
0.0691203
873
0.0690486
866
0.068977
860
0.0689056
863
0.0688343
868
0.0687631
850
0.0686921
841
0.0686211
850
0.0685503
885
0.0684796
824
0.0684091
863
0.0683386
874
0.0682683
904
0.0681982
963
0.0681281
1043
0.0680582
1079
0.0679883
1065
0.0679187
1061
0.0678491
1014
0.0677796
999
0.0677103
956
0.0676411
914
0.067572
869
0.0675031
844
0.0674342
744
0.0673655
731
0.0672969
621
0.0672284
560
0.0671601
526
0.0670918
458
0.0670237
417
0.0669557
344
0.0668878
325
0.06682
328
0.0667524
300
0.0666849
308
0.0666174
496
0.0665501
1503
0.066483
3942
0.0664159
5929
0.0663489
4166
0.0662821
1312
0.0662154
433
0.0661488
317
0.0660823
259
0.0660159
241
0.0659496
219
0.0658835
213
0.0658175
211
0.0657515
239
0.0656857
238
0.06562
226
0.0655545
226
0.065489
204
0.0654236
225
0.0653584
222
0.0652932
226
0.0652282
238
0.0651633
207
0.0650985
243
0.0650338
239
0.0649692
248
0.0649048
224
0.0648404
219
0.0647761
234
0.064712
243
0.064648
283
0.064584
242
0.0645202
278
0.0644565
261
0.0643929
248
0.0643294
229
0.064266
250
0.0642027
256
0.0641396
250
0.0640765
234
0.0640135
269
0.0639507
223
0.0638879
221
0.0638253
231
0.0637628
220
0.0637003
238
0.063638
237
0.0635758
237
0.0635136
236
0.0634516
236
0.0633897
242
0.0633279
239
0.0632662
259
0.0632046
244
0.0631431
279
0.0630817
275
0.0630204
264
0.0629592
266
0.0628981
246
0.0628371
299
0.0627762
259
0.0627155
260
0.0626548
279
0.0625942
231
0.0625337
211
0.0624733
278
0.062413
259
0.0623528
235
0.0622928
227
0.0622328
239
0.0621729
212
0.0621131
214
0.0620534
231
0.0619938
237
0.0619343
247
0.0618749
269
0.0618156
299
0.0617564
323
0.0616973
414
0.0616383
617
0.0615794
706
0.0615206
720
0.0614619
496
0.0614032
298
0.0613447
270
0.0612863
268
0.0612279
303
0.0611697
281
0.0611115
216
0.0610535
114
0.0609955
136
0.0609377
168
0.0608799
216
0.0608222
274
0.0607647
255
0.0607072
228
0.0606498
227
0.0605925
219
0.0605353
239
0.0604781
215
0.0604211
132
0.0603642
75
0.0603073
end of experiment
